超精加工是用细粒度的油石条以较低的压力和切削速度对工件表面进行光整加工，加工中有三种运动：工件低速旋转运动；超精头轴向进给运动；油石条往复振动。超精加工大致可分为四个阶段：强力切削阶段；正常切削阶段；微弱切削阶段；自动停止切削阶段。